Design and Fabrication of MEMS Gyroscopes on the Silicon-on-insulator Substrate with Decoupled Oscillation Modes

- Design and Fabrication of MEMS Gyroscopes on the Silicon-on-insulatorSubstrate with DecoupledOscillationModes 学术期刊 中国机械工程学报CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 2010年第23卷第1期
- 微型电磁继电器的制作和仿真分析 Fabrication and Simulation of an Electromagnetic Microrelay 作者:张宇峰,李德胜 学术期刊 半导体学报CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 2002年第23卷第12期
- A micro amperometric immunosensor for detection of human immunoglobulin 学术期刊 中国科学F辑（英文版）SCIENCE IN CHINA (INFORMATION SCIENCES) 2006年第49卷第3期
- 微型机械设计基础研究 STUDY ON THE FUNDAMENTAL DESIGN ISSUES OF MICROELECTROMECHANICALSYSTEMS (MEMS) 作者:温诗铸,丁建宁 学术期刊 机械工程学报CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 2000年第36卷第7期
- 对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考 Consideration about the Developing Trend of and the Challenges Faced by the MicroElectromechanicalSystems (MEMS) 作者:张栋 学术期刊 科技情报开发与经济SCI/TECH INFORMATION DEVELOPMENT & ECONOMY 2006年第16卷第24期
- 微机电系统二维线圈的能量接收性能 Energy-Receiving Performance of Two-Dimension Coil in MicroElectromechanicalSystems 作者:薛凯峰,黄平 学术期刊 华南理工大学学报（自然科学版）JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION) 2010年第38卷第8期
- SOI衬底对3C-SiC异质外延薄膜内残存应力的影响 Effect of Silicon-on-InsulatorSubstrate on Residual Strain in 3C-SiC Films 作者:王晓峰,黄风义,孙国胜,王雷,赵万顺,曾一平,李海鸥,段晓峰 学术期刊 半导体学报CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 2005年第26卷第9期
- 多机电力系统振荡模式阻尼分配与传递 Damping Apportionment and Transference of OscillationModes in Multi-machine Power System 作者:李凌志,赵书强,潘云江,潘俊斌 学术期刊 华北电力大学学报JOURNAL OF NORTH CHINA ELECTRIC POWER UNIVERSITY 2001年第28卷第2期
- 微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究 The Study on Mechanical Properties of Thin Film in Micro-electromechanicalSystems 作者:陈光红,吴清鑫,于映,罗仲梓 学术期刊 中国仪器仪表CHINA INSTRUMENTATION 2007年第5期
- 微机电系统的发展现状和应用 Development and Application of MicroElectromechanical System (MEMS) 作者:胡雪梅,吕俊霞 学术期刊 机电设备MECHANICAL AND ELECTRICAL EQUIPMENT 2005年第22卷第6期