解耦硅微陀螺仪的结构误差分析和系统性能测试Structure Error Analysis and System Performance Test of Decoupled Silicon Micro-Gyroscope
学术期刊 QCode : nmjsyjmgc201006012
为了研究对称解耦的硅微陀螺仪的性能,对其结构误差进行了分析,并对其系统性能进行了测试.利用全解耦硅微陀螺仪的简化运动模型,分析了由弹性梁梁宽误差导致的机械耦合误差,并推导其公式.
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