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微型机械设计基础研究
微型机械设计基础研究
STUDY ON THE FUNDAMENTAL DESIGN ISSUES OF MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
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<<机械工程学报>>2000年 第36卷 第07期
作者: 温诗铸, 丁建宁,
期刊-核心期刊 QCode : jxgcxb200007010
针对微型机电系统发展过程中存在的问题,论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性,并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点,提出了目前迫切需要开展的一些主要研究方向.
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